半導体製造装置
1. アプリケーションの背景
加熱ベルトシステムは科学技術業界で広く使用されており、例えば、さまざまな科学技術業界で使用されている真空管やガスパイプラインの温度を維持するために、柔らかい加熱布バッグを使用する必要があります。加熱が制御不能になると、加熱ベルトは過熱保護機能を起動し、加熱時に加熱電源を切断する必要があります。したがって、過熱保護の重要なデバイスとして、温度スイッチは加熱ベルトシステムで重要な役割を果たします。
2. 保護原理
温度スイッチは機械的な受動部品であり、加熱ベルトシステムのメイン回路によく設置されています。回路の故障または電流が定格値を超えると、回路の異常加熱によって温度が上昇し、温度スイッチは内部の熱感知要素バイメタルを介して外部温度の変化を誘導します。温度が設定されたしきい値を超えると、二重に変形し、接点を切断して回路を遮断し、機械全体の保護を果たします。
熱感応素子が作動すると、接点が切断され、接触抵抗が50mA以内から無限大近くまで瞬時に変化し、主回路電流を遮断し、機械全体を保護する役割を果たします。
周囲温度が温度スイッチのリセット温度まで下がると、熱感応素子は初期状態に戻り、接点が再び閉じ、50mA以内の抵抗値信号が回路に与えられます。その後、アクチュエータはプログラム設定に従って動作します。
3. 設置位置
温度スイッチは加熱ベルトシステムの加熱層に設置されており、加熱ラインの敷設位置の近くに設置されるか、加熱温度を素早く感知できるため、時間内の温度変化を監視できます。
4. 選択要因
定格電流と電圧: 選択した温度スイッチの定格電流と電圧が加熱ベルトの動作電流と電圧の要件を満たし、正常に動作することを保証します。
保護温度: 設計と設置位置に応じて異なる温度を選択します。通常は 120℃、150℃、200℃ の 3 つの温度グレードを選択します。
接点スイッチ形式: 常閉と常開の 2 つに分かれており、常閉は初期状態の接点が閉じ、保護温度に達すると接点が切断されます。常開はその逆です。設計に応じて異なるスイッチ形式を選択します。
サイズと設置モード: 加熱ベルトのサイズと設置スペースに応じて、サーマル プロテクターの適切なサイズと設置モードを選択し、設置が便利で、機器の正常な動作に影響を与えないようにします。